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壓電直線納米位移臺 Z軸掃描臺,得益于特殊的結構設計，卓聚科技的Z軸掃描臺，提供約等于5nm的粗調步進。產品支持真空，低溫等應用。
| Z軸掃描臺尺寸參數 | ||
| 中間位置外形尺寸（長*寬*高） | 45.6*44.0*24.6 | mm |
| 樣品臺面平面度 | <5 | μm |
| 總重量 | 78 | g |
| 運動參數 | ||
| Z軸行程 | ±1.0 | mm |
| 粗調步進 | 5~200 | nm |
| 細調行程 | 300 | nm |
| 細調步進（理論值） | 0.005 | nm |
| 閉環運動 | ||
| 重復定位精度 | 4 | nm |
| 分辨率 | 2 | nm |
| 負載 | ||
| 豎直方向負載 | 10 | N |
| 操作環境 | ||
| 閉環（開環）操作溫度 | -20~80（-269~80） | ℃ |
| 是否適用真空 | 是 | / |
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