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壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF-5950A 可在-269℃的低溫下進(jìn)行開(kāi)環(huán)使用。設(shè)備具備合適的安裝尺寸。得益于更跟均衡的尺寸設(shè)計(jì)，設(shè)備具有更大的負(fù)載能力。
設(shè)備支持真空環(huán)境。并且支持定制化的開(kāi)孔位置，滿足不同的安裝場(chǎng)景。壓電陶瓷的驅(qū)動(dòng)模塊使用，使設(shè)備具有360°全行程的高精度定位及高分辨率。
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| 壓電旋轉(zhuǎn)納米位移臺(tái)RF-5950A尺寸參數(shù) | ||
| 外形尺寸 | 59.0*59.0*21.5 | mm |
| 臺(tái)面平面度 | 10 | μm |
| 總重量 | 190 | g |
| 材料 | ||
| 機(jī)身 | 鋁合金 | / |
| 驅(qū)動(dòng) | PZT壓電陶瓷 | / |
| 驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu) | 鈹青銅 | / |
| 導(dǎo)線 | 屏蔽線，銅線 | / |
| 粗調(diào)模式 | ||
| 行程 | 360°無(wú)限制 | ° |
| 回轉(zhuǎn)直徑 | 50 | mm |
| 運(yùn)動(dòng)步進(jìn) | 0.1~7.21 | m° |
| 速度上限 | 0.132 | rad/s |
| 細(xì)調(diào)模式 | ||
| 細(xì)調(diào)步進(jìn) | 0.16 | μ° |
| 細(xì)調(diào)范圍 | 10.8 | m° |
| 閉環(huán)運(yùn)動(dòng) | ||
| 重復(fù)定位精度 | 0.66 | m° |
| 分辨率 | 0.33 | m° |
| 負(fù)載 | ||
| 垂直運(yùn)動(dòng)方向負(fù)載 | 10 | N |
| 負(fù)載扭矩 | 160 | N/mm |
| 操作環(huán)境 | ||
| 閉環(huán)（開(kāi)環(huán)）操作溫度 | -20~80（-269~80） | ℃ |
| 是否適用真空 | 是 | / |
| 其它 | ||
| 控制類型 | 開(kāi)環(huán)/閉環(huán) | / |
| 運(yùn)動(dòng)分辨率 | 0.16 | μ° |
| 驅(qū)動(dòng)電壓上限 | 125 | V |
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